电火花线切割加工的加工精度大致可分为四个方面，即加工面的尺寸精度、间距尺寸精度、定位精度和角部形状精度。线切割加工的精度是相当高的，一般可以控制在0.015~0.02mm之间，如果是新换上的钼丝，一般可以控制在0.01mm以下。

   影响电火花线切割加工精度的因素很多，主要有脉冲电源、电极丝、工作液、工件、进给方式、机床和环境等。